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荷兰光刻机最小多少纳米？荷兰光刻机为什么厉害？

荷兰光刻机最小多少纳米?世界光刻机目前根据不同工艺可以分别做到 14 nm 和 5nm以下。目前最高端的EUⅤ光刻机波长13 5nm，曝光精度14nm

中穆青年网 2022-10-24 15:58:36