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当前速看：一中国企业曝接近式光刻机研发进展 但离EUV光刻机还差太远

近日，一家名为大族激光的公司在接受机构调研时表示，目前，公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入

运营商财经 2023-02-07 05:21:10